上海光機所大口徑釹玻璃加工取得重要進(jìn)展

   中科院上海光學(xué)精密機械研究所恒益公司大口徑釹玻璃加工取得重要進(jìn)展，精拋光面形透射波前畸變可穩定優(yōu)于1/3λ（λ=632.8nm），技術(shù)指標達到國內大平面光學(xué)環(huán)拋加工最高水平，為國際同類(lèi)產(chǎn)品加工先進(jìn)水平，并具備小批量生產(chǎn)能力。

　　近年來(lái)，釹玻璃片精拋光過(guò)程中的面形控制工藝難度和表面疵病嚴重超標的現象一直制約著(zhù)上海光機所恒益公司的加工產(chǎn)能。近幾個(gè)月來(lái)，上海光機所恒益公司集中組織專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員，對釹玻璃光學(xué)加工中的相關(guān)工藝逐一進(jìn)行分解和細化，圍繞確定性環(huán)形拋光技術(shù)和生產(chǎn)過(guò)程控制，以工藝改進(jìn)和效率提升為目標，從技術(shù)路線(xiàn)和管理路線(xiàn)兩個(gè)方面進(jìn)行攻關(guān)研究。

　　目前，生產(chǎn)效能和加工工藝水平都取得重要進(jìn)展，集中表現為以下兩個(gè)方面：產(chǎn)能得到有效提升，7個(gè)月內，月產(chǎn)能從2片/月提升到現在的15片/月；產(chǎn)品技術(shù)指標提升，尤其是表面質(zhì)量得到有效控制和改進(jìn)，供貨合格率得到大幅提高。

　　大口徑釹玻璃是高功率激光裝置的核心元件，其最大工件尺寸接近一米，精密拋光的面形要求為透射波前畸變優(yōu)于1/3λ，相當于0.21微米的平面度要求。在大尺寸釹玻璃上實(shí)現如此高的平面度，溫梯度發(fā)生1℃的變化都會(huì )造成其面形畸變，技術(shù)難度高。