用于微小缺陷檢測的光學(xué)在線(xiàn)檢測技術(shù)

 玻璃基板能夠用于生產(chǎn)FPD顯示器、觸摸屏或TFT監視器，這些產(chǎn)品都有一個(gè)共同點(diǎn)：它們代表了人與機器之間的界面。無(wú)論設備種類(lèi)如何，客戶(hù)期望的是完美的觸感和外觀(guān)——無(wú)論是MP3播放器還是智能手機。對于玻璃制造商而言，這意味著(zhù)持續確保最高的質(zhì)量標準，以滿(mǎn)足客戶(hù)需求并參與全球競爭。憑借FlatPanelMaster生產(chǎn)線(xiàn)，ISRAVISION提供了下列解決方案：為實(shí)現100%監控的基底制造過(guò)程提供靈活的全自動(dòng)光學(xué)檢測技術(shù)，從而實(shí)現最高的產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
　　
　　玻璃基板的生產(chǎn)分為若干復雜步驟，每一步驟僅占附加值的約5%。然而，生產(chǎn)過(guò)程中的每一階段都至關(guān)重要：每當有缺陷的玻璃基板被傳遞到下一個(gè)過(guò)程，任何進(jìn)一步的精整過(guò)程都將是徒勞的——最終產(chǎn)品也是如此。因此，從一開(kāi)始直到產(chǎn)品鏈的末端，均需要具備一致和完整的檢測——這不僅僅是定性的需要，也是出于經(jīng)濟方面的考慮。
　　
　　到目前為止，即使對于光學(xué)檢測系統而言，最小的材料厚度和微觀(guān)缺陷尺寸也是一項挑戰。憑借其FlatPanelMaster產(chǎn)品線(xiàn)，ISRA為高度可靠的玻璃基板無(wú)觸點(diǎn)在線(xiàn)檢測提供了完整的解決方案。該技術(shù)的核心是分辨率高達幾微米的線(xiàn)性?huà)呙柘鄼C、創(chuàng )新的照明理念以及配備全面分析選項的軟件。此外，該產(chǎn)品線(xiàn)提供了四種組合模組，因此可提供貫穿整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的100%缺陷檢測，最高可兼容第11代薄板玻璃。
　　
　　在玻璃基板的表面上，即使最小的顆粒聚集也會(huì )對下列電池板的生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生不良影響。FlatPanelMaster–Particle是一種特殊的模組，適合在潔凈室中使用，能夠可靠地檢測微米大小的顆粒。它能夠確保只有毫無(wú)瑕疵的薄板玻璃能夠通過(guò)檢測，并傳遞至后續的鍍膜處理。所獲得的檢測數據為潔凈室中的顆粒密度大小提供了參考意見(jiàn)，并且能夠用于優(yōu)化初步的清潔程序。
　　
　　FlatPanelMaster–Inspect模組專(zhuān)門(mén)用于檢測和分類(lèi)玻璃缺陷（例如氣泡、劃痕、污點(diǎn)和夾雜物）。為滿(mǎn)足這一要求，它采用了創(chuàng )新的設置，將多個(gè)光學(xué)通道結合至單一傳感器內。取得專(zhuān)利的在線(xiàn)Moiré技術(shù)可測量玻璃的光學(xué)折射，并幫助檢測缺陷，可靠性和精確度都達到很高的水平。采用快速和獨立切換的LED，可以實(shí)現不同的照明效果，而無(wú)需使用復雜的多角度照明布置。這一努力取得了成效：早期缺陷檢測避免了在生產(chǎn)過(guò)程末端產(chǎn)生廢料，從而降低了成本。
　　
　　完美的邊緣對于薄板玻璃的尺寸精度至關(guān)重要，并使破損風(fēng)險最小化。FlatPanelMaster–Edge檢測模組采用多視圖技術(shù)（將近360度），以無(wú)可比擬的精度檢查玻璃基板邊緣，從而檢測包括裂痕、翹皮、燒痕和破損在內的缺陷。緊湊的傳感器可以集成在一個(gè)固定的位置或可移動(dòng)軸上，使系統靈活輕松適應任何類(lèi)型的玻璃傳輸設備。除了質(zhì)量文檔以外，檢測協(xié)議還提供磨削加工過(guò)程的優(yōu)化信息。所記錄的數據可供操作員定義砂輪和邊緣切割器的最佳置換時(shí)間，以使運行時(shí)間最大化。
　　
　　FlatPanelMaster–Review模組的設計旨在用于生產(chǎn)線(xiàn)末端以及離線(xiàn)時(shí)對于選定缺陷的微觀(guān)分析?？梢酝ㄟ^(guò)使用多個(gè)縮放因子選擇并放大相關(guān)缺陷。該軟件有助于找到造成缺陷的根源，并提供了對缺陷的重新分類(lèi)以便重新劃分玻璃基板等級（視需要而定）。毫無(wú)疑問(wèn)，玻璃制造商做出的是一項雙重的安全質(zhì)量決定。
　　
　　高度精確的FlatPanelMaster所提供的無(wú)觸點(diǎn)檢測為玻璃基板的質(zhì)量改進(jìn)提供了巨大的潛力，進(jìn)而提高了成品顯示器的質(zhì)量。此外，根據統計數據準備的檢測數據以及廣泛的分析功能確保了透明度，并有助于建立關(guān)于生產(chǎn)過(guò)程的知識，作為進(jìn)一步優(yōu)化的依據。憑借這些知識可以對制造參數進(jìn)行調整，從而提高了生產(chǎn)效率并降低了成本。
　　
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　　通過(guò)FlatPanelMaster(FPM)產(chǎn)品線(xiàn)實(shí)現最高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率

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　　完整的薄板玻璃基板檢測解決方案
　　
　　實(shí)現完美的平板顯示器
　　
　　(a：顆粒計數器，b:缺陷檢測，c：邊部檢測，d：復檢模塊)